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本文关键词：质量流量控制器
气体质量流量控制器Mass gas flow controller（meter） 缩写为MFC(MFM)）是对气体的质量流量进行精密测量和控制的设备。 可耐压高及适用于真空条件下工作。工作压力范围宽，气体流量不因温度、压力的变化而变化。 主体采用不锈钢（316L）结构，气密材料采用VITON、聚四氟乙烯等。 适用于各种耐腐蚀性气体。
气体质量流量控制器可任意位置安装。电气操作控制显示，使用方便。易于与电气系统或自 动控制系统配合。 配合LF-SXV系列流量显示仪，可对气体的瞬时流量进行精确控制。质量流量控制器(流量计)流量出厂通常用氮气(N2)标定。 质量流量单位为： mLn/min（标准毫升/分钟）；(SCCM 行业标准) Ln/min （标准升/分钟）。(SLM 行业标准) 标准状态为：温度----273.15K（0℃）；气压----101325Pa(760mmHg)F.S(Full Scale):表示满量程值。
主要用于：半导体制造行业的气体流量控制； 分析仪器设备的气体计量与控制； 各种形式的真空镀膜设备； 环境检测与分析设备； 化工、石化、食品、冶金、光纤熔炼等行业气体流量检测和控制； 特种材料表面处理装置与燃烧控制； 混气配气系统和泄露探测系统等
