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本文关键词：质量流量控制器
质量流量控制器由流量传感器、分流器通道、流量调节阀和放大控制器等部分组成。传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量(无需温度压力补偿)。将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大，放大后的流量检测电压与设定电压进行比较，再将差值信号放大后去控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。
质量流量控制器的分流器决定主通道的流量。与质量流量控制器配套的流量显示仪上设置有稳压电源数字电压表，设定电位器，外设、内设转换和三位阀控开关等。质量流量控制器采用热扩散原理，热扩散技术是一种在苛刻条件下性能较优的技术。其典型传感元件包括两个热电阻(铂RTD)，一个是速度传感器，一个是自动补偿气体温度变化的温度传感器。
