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本文关键词：质量流量控制器
气体质量流量控制器(Mass Flow Controller 缩写为MFC)用于对于气体的质量流量进行精密测量和控制；气体质量流量计(Mass FlowMeter缩写为MFM)用于对于气体的质量流量进行精密测量。扩散，氧化，分子束外延，CVD， 等离子刻蚀，溅射，离子注入，以及真空镀膜设备，光纤熔炼，微反应装置，混气配气系统，毛细管测量气象色谱仪，光导纤维制造设备中。
质量流量控制器是利用热传导原理测量流体流量的仪表，采用恒温差法对气体质量流量进行准确测量，具有体积小，数字化程度高，安装方便，测量准确等优点。质量流量控制器可用于玻璃、太阳能、大气监测、工业制作、石油石化、煤炭冶金、制气配气、环保等各种工业企业的气体管路分配控制、烃类气体、可燃性气体、烟道气等气体的质量流量或实际工况的体积流量测量和监控。
