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本文关键词：质量流量控制器
质量流量控制器(英文缩写为MFC)不仅能测量气体的流量，具备流量计的功能，而且它还能控制流量，它本身具有检测控制电路和流量控制阀，是一个闭环控制单元。其由流量传感器、分流器通道、流盘调节阀和放大控制电路等部件组成。流量传感器是热式流量传感器，采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量，具有温度压力自动补偿特性。
质量流量控制器的传感器通常是在一根不锈钢毛细管上绕制两组热繳电组丝构成，热敏电阻丝与另外两个精密电阻构成测量电桥，工作时给热敏电阻通电加热，当毛细管中没有气体流动时，两组热敏电阻温度相同，电桥平衡无信号输出，对应于流量值为零，当毛细管中有气体流动时，处于上游的绕组和处于下游的绕组会发生不同的湿度变化，从而使热敏电阻阻值也产生不同改变，测量电桥输出-一个差值信号，此信号的大小与流过传感器的气体的质量流量成正比。
