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本文关键词：质量流量控制器
质量流量控制器对流量的测量和控制不因温度或压力的波动而失准。多数流量测控系统难避免系统的压力波动及环境和介质的温度变化。普通的流量计，压力及温度的波动将导致较大的误差，对于质量流量控制器则可以忽略不计。质量流量控制器可以将流量测量值以输出标准电信号输出。可实现对流量的数字显示、累积流量自动计量、数据自动记录、计算机管理等。对质量流量控制器而言，还可实现流量的自动控制。通常,模拟的MFC/MFM输入输出信号为0~ + 5V或4~20mA。
质量流量控制器可以精控制气体的给定量，这对工艺过程的流量控制、对于不同气体的比例控制等较为有用。其具有较宽的工作压力范围，可以从真空直到10MPa，可适用于多种气体介质(包括腐蚀性气体，如HCL) ；流量范围可达0~ 5 sccm，Z大流量范围可达0~ 200 slm。流量显示的分辨率可达满量程的0.1%,流量控制范围是满量程的2~ 100%。
