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气体质量流量控制器的流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量(无需温度和压力补偿)。其控制器输出的流量检测到的电压与流过通道的气体质量成正比。满量程检测输出电压为5VDC气体，检测范围为2一100%满刻度(量程比为50.1) , 流量分辨率为0.1%满刻度。
气体质量流量控制器的工作原理是将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大，放大后的流量测量电压与设定电压进行比较，再将差值信号放大后去控制调节阀，通过闭环控制来控制通过的流量,并使之与设定的流量相等。分流器决定主通道的流量。注意：气体质量流量控制器的阀控”线置于清洗”位时也可以当成气体质量流量计使用。这时,流量检测输出电压的输出值可能达到10VDC以上。需要注意的是一旦输出电压超过5VDC，流量检测电压和实际通过的流量不成线性对应关系。
