层流式质量流量计

产品介绍

层流式质量流量计原理：
层流式质量流量计的工作原理是基于哈根-泊肃叶定律（Hagen-Poiseuille Law）该定律指出，在温度、管径等参数一定的情况下，圆管内的不可压缩流体在层流状态下流动时，其体积流量与管道两端的压降呈线性关系。通过读取层流元件两端的压差信号，从而计算出体积流量，再对该体积流量进行压力和温度修正，从而获得标准的体积流量和质量流量数值。

层流式质量流量计的测量：
具体来说，层流式质量流量计由层流元件和差压传感器组成3。在层流元件中，流体以层状运动，即每个质点沿着与管轴平行的方向作平滑直线运动1。差压传感器测量层流元件两端的压差信号，这个信号与流体体积流量成正比3。通过这个压差信号，可以计算出流体的体积流量，并进一步进行压力和温度修正，以得到标准体积流量和质量流量图1。

层流式质量流量计的优势解析：
高精度：由于层流状态下流体参数的规律性，层流差压式质量流量计能够实现高精度的流量测量。其测量精度通常优于传统压差式流量计，特别是在微小流量和低压流体的测量中表现尤为突出。
快速响应：层流差压式质量流量计的响应时间非常快，这主要得益于层流元件两端压差信号的快速获取。压力波的传播速度（即声波速度）决定了压差信号的获取速度，从而确保了流量计的快速响应能力。
高重复性：流体的层流状态具有的稳定性，这使得层流差压式质量流量计的测量结果具有很高的重复性。在常规环境中，气体通常呈湍流状态运动，而层流差压式流量计通过层流元件使气体保持层流状态，从而提高了测量的稳定性和重复性。

层流式质量流量计的注意事项：
需要注意的是，层流式质量流量计必须在确保流体在层流状态下流动，才能维持体积流量与压差之间的线性关系，从而确保测量的高精度。
层流式质量流量计的应用：
广泛应用于半导体、集成电路工业、特种材料、化学工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中。半导体产业中常用的CVD、Diffusion工艺，均是通过层流式质量流量计来精确地控制产品的镀膜和掺杂质量。另外，刻蚀等工艺过程也大量使用到MFC来控制工艺质量。
众所周知，半导体行业的原材料成本非常高昂，工艺非常复杂，因此对于产品质量的控制就显得尤为重要。对在半导体行业广泛使用的MFM/MFC进行周期性校准，是保证了MFM/MFC长期稳定工作的有效方法。
综上所述，层流式质量流量计是以其高精度、快速响应、高重复性和多气体适应性等优势，在各行各业中得到广泛应用。其使用从而改善了生产效率和产品质量，降低生产成本，以及增强产品竞争力。

产品标签：

层流式质量流量计

热式流量计

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层流式质量流量计

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